压电偏转镜是以PZT压电叠堆陶瓷作为驱动元件，内部采用无摩擦挠曲铰链导向结构设计，外部机械结构通过内部多支PZT压电陶瓷的伸缩来实现单轴或多轴角度偏转运动，具有极佳的运动精度和超高的稳定性，通过内置或外部高精度传感器进行闭环控制，实现亚微弧度分辨率及微弧度定位精度。

快速压电偏转镜系统，可通过采用内置应变或电容传感器进行闭环实时位置检测，这也是常用的闭环控制方法。另外，也可通过外部传感器实现闭环控制，下面将介绍芯明天*新推出的基于PSD位置探测器为外部检测设备，实现压电偏转镜系统的外部闭环控制。

根据用户的实际使用需求及光学的特点，芯明天公司推出了基于外部PSD位置传感进行闭环实时位置检测的压电偏转系统。原理如下图。

采用外部PSD位置探测器闭环压电偏转系统原理图

PSD位置探测器可对快速压电偏转镜反射光束的光斑进行实时位置检测，并反馈给压电偏转镜控制器，压电控制器对PSD位置探测器反馈的传感器信号进行放大、采集，同时，输出相应的补偿控制电压信号，快速压电偏转镜根据补偿控制电压信号进行快速角度调整，使得光信号准确、完整的接收，从而达到稳像等目的。

芯明天通过实验对利用PSD位置控制器实现压电偏转镜系统的闭环控制进行演示。实验搭建结构如下图所示。

    该实验先设定了光束接收的目标位置坐标，通过一个压电偏转镜系统对光束产生角度振动干扰，再通过PSD位置探测器检测光束的实际坐标位置，并将位置电压信号反馈到芯明天压电控制器的传感模块，传感模块将位置信号进行处理并对用于补偿的压电偏转镜施加相应的补偿电压信号，该压电偏转镜产生与干扰信号相同的且相反方向的角度偏转，从而使得光束传输到目标位置，实现光的快速、精准传输，例如成像、光通信等应用。

与采用内置应变传感器的闭环版本压电偏转镜相比，开环快速压电偏转镜具有更快的响应速度及更高的分辨率，因此采用外部PSD位置探测器检测，可提高光束的调整速度，另外，它可直接对光斑位置进行测量，是光束偏转方向的直接反应。

实验效果如下图所示，压电偏转镜控制器（用于扰动）对扰动压电偏转镜施加正弦电压信号，扰动压电偏转镜产生正弦规律扰动，补偿压电偏转镜对该扰动信号进行补偿，*终达到稳定。

芯明天公司不仅可提供配置有外部PSD位置探测器的压电偏转系统，同时，我们也可提供芯明天压电偏转系统与用户外部位置探测器的集成服务。

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