芯明天压电纳米定位台

芯明天压电纳米定位台是以压电陶瓷促动器作为驱动源，结合柔性铰链机构实现X轴、Z轴、XY轴、XZ轴、XYZ轴精密运动的压电平台，运动范围可达500μm；具有体积小、响应速度快等特点；配置高精度闭环反馈传感器，可以实现纳米级分辨率及定位精度，具有极高的可靠性，在精密定位领域中发挥至关重要的作用。

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突出特点

X、Z、XY、XZ及XYZ向运动、

体积小巧，可定制、

分辨率可达亚纳米级、

可选闭环反馈传感器、

       毫秒级响应速度。

应用

光学对准、

干涉法/显微/纳米定位、

生物技术/半导体技术、

质量保证测试、

微加工/精密控制等。 

闭环与开环版本

闭环版本压电纳米定位台内部具有高分辨率及快速响应的定位反馈传感器，配备在驱动机构的合适位置，它可向控制器反馈高带宽、纳米级定位精度的信号。传感器使用全桥配置以消除热漂移，并保证光学定位在纳米范围的稳定性。

开环版本压电纳米定位台非常适合于要求超快响应及高分辨率、但绝对定位不重要的应用中。它也可用于使用外部反馈系统（如干涉仪，PSD定位敏感二极管，CCD芯片/图像处理系统，操作员手眼控制等）的控制。

高性能压电促动器及FEA建模结构分析

芯明天压电纳米定位台内部具有高性能的压电促动器，可提供超高的性能与可靠性。

芯明天压电纳米定位台内部设计为挠曲导向结构，经过FEA建模，对结构运动进行精确模拟分析，使得定位台的设计可达到最好的性能状态，高稳定性、高精度、长寿命等。

芯明天压电控制器

芯明天提供高精度压电控制器，且具有多种类型可选，如小体积、大功率、多通道、数字与模拟控制、工业级、航天级等。

芯明天压电纳米定位台应用案例

芯明天压电纳米定位台的应用领域非常广泛，如半导体技术、航天图像处理、低温与真空环境、生物科技与生命技术、天文自适应光学、显微与成像、测量/激光技术/光学检测/摩擦学、数据存储技术、精密加工（金属、光学、激光切割、金刚石修整）、纳米技术、纳米制造与纳米自动化、光电子通信与集成光学、新药设计与医疗技术等。

以下为芯明天压电纳米定位台的几个简单案例。

在电化学腐蚀加工中，通过纳米微动定位平台Z向微小移动，带动悬臂梁悬挂加工件上下移动，完成与电解液的接触，从而实现腐蚀加工。

在光纤端面检测仪器中，通过压电纳米定位台带动镜片做纳米级精密运动，配合显微镜完成对光纤端面质量的干涉检测实验。

迈克尔逊干涉仪是根据光的干涉原理制成的精密测量仪器。

压电陶瓷材料在电场作用下会产生伸缩且伸缩量极小，使用压电驱动的纳米级运动平移台带动迈克尔逊干涉仪的反射镜，进行纳米级的超精密运动。

锡膏测厚仪是一种利用激光非接触三维扫描密集取样技术，将印刷在PCB板上的锡膏厚度、面积、体积等分布测量出来的设备。为了收集和高度有关的信息，在拍摄的图像上采用二维压电纳米定位台带动光栅进行纳米级运动的多次移动，每次移动拍摄一组图像，最终合成一组图像，显示出测试结果。

芯明天压电纳米定位台可与国产或进口毫米级行程的压电马达、电动位移台、手动位移台、直线电机等相结合，以获得几十至几百毫米的运动范围，且定位精度可达亚纳米级，实现大位移高精度的定位操作。

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