XP-62X系列压电纳米定位台是采用封装型压电促动器直接驱动，具有大承载、响应速度快、可靠性高和使用寿命长等优点。内置高分辨率SGS传感器进行全闭环运动控制，高谐振频率和大拉力使得该系列纳米定位台适用于精密加工等领域。

特点：

• 1~3维自由组合 

• 最大行程68μm

• 最大承载10kg

• 重复定位精度可达0.05%F.S.

• 亚毫秒响应时间

技术参数：