0.001秒即可测出实时3D形貌,并且是亚纳米的精度,非扫描非接触。
——克服了传统共聚焦显微镜、干涉仪、扫描探针轮廓仪等需要扫描的缺点。
典型用户北京大学——动态纳米应变鼓膜;清华大学——微纳,微电子;华中科技大学,天津大学、东南大学(MEMS),南航等
超高速测量动态3D形貌 | 多种可控环境下测量 |
DHM非扫描非接触,0.001秒即可得到样品3D形貌: • 可形变样品三维动态响应 • 表面大区域扫描分析 • 高产量常规检测 • 生产线在线三维形貌捕捉 | 独特的光学原理和光路设计使得DHM® 能够满足使用者在各种环境下的测量需求,提供灵活和便利的测量体验: • 透过玻璃(盖玻片、载玻片、玻璃窗口)或者浸润液 • 观测环境控制箱或真空腔内部样品,可改变环境参 数,比如温度、湿度、气压、气体成分等 |
MEMS测振分析,最高可达25 MHz | 测量透明样品三维形貌 |
频闪模块可同步DHM® 测量时激光脉冲与 MEMS器件的激励信号,获取振动周期内的全视场振动模态。 这些特有的分析数据可提供以下信息: • 三维形貌时序图 • 频率共振分析和响应分析 • 面内面外振幅分析(面内振幅测量精度1nm,面外振幅测量精度5pm) • 复杂运动表征,振动模态表征,样品动态三维形貌 | 得益于DHM® 多激光源配置,通过专用反射分析软件(可选配件)可以表征透明薄膜样品,包括: • 透明结构表面形貌 • 多层透明薄膜组成结构的厚度、折射率,测量范围 可从10纳米至几十微米 • 柔性材料或是液体的形貌 |
实时四维形貌量测: 微纳3D形貌(可达1000 fps); MEMS测振高达25 MHz; 纵向精度0.3nm MEMS器件• 频率共振分析和响应分析(高达25MHz)• 面内面外振幅、相位、位移、速度&加速度• 复杂运动表征,振动模态表征, 样品动态三维形貌 细胞非侵入量化相位显微(QPM)高内涵筛选-细胞毒理分析 想要测试样品?没问题! |
自适应信息光学类 | 空间光调制器 波前分析仪 自适应光学系统 数字微反射镜 DMD 光刻仪 光学元件器件DOE |
超快激光与测量 | 飞秒激光器 皮秒激光器 自相关仪 超短脉冲测量仪Frog 超快激光器件 |
激光器和光源 | 光纤激光器 低噪声窄线宽激光器 可调谐激光器 半导体激光器和放大器 SLD和ASE宽带光源 |
光谱测量类 | 超连续谱光源 单色仪 光谱仪 光栅 辐射计 防嗮系数分析仪 Qioptiq-Point-source |
激光测量设备 | 激光功率能量计 质量分析仪 位敏探测器 光电探测器 光学斩波器 红外观察仪及防护镜 红外相机 |
太赫兹产品 | 太赫兹光谱仪 太赫兹相机 太赫兹功率计 太赫兹探测器 太赫兹元器件 |
光纤拉锥机及光纤配件 | 光纤熔融拉锥机 光纤跳线及配件 无源器件 |
激光配件 | 普克尔盒 电光调制器 法拉第隔离器 半导体可饱和吸收镜 |
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