宾夕法尼亚大学和康奈尔大学的研究人员利用新型纳米加工技术，制造出由硅制成并由太阳能电池供电的微型机器人。 可以用4英寸硅片生产100万个功能性微观机器人。

研究人员已经开发出一种小型、功能性、远程供电的步行机器人，开发了一种多步纳米加工技术。 专业的硅片在短短几周内投入到百万个微型机器人中。 每个机器人的四条腿的厚度都不到100个原子，但是它们推动着微型机器人，由激光照射机器人的太阳能电池板。 机器人使用纳米加工技术大规模并行构建：每个晶圆可容纳100万台机器。 由Marc Miskin提供。

机器人的身体由超薄矩形玻璃骨架形成，顶部有一层薄薄的硅层，研究人员在其中蚀刻了电子控制元件和两个或四个硅太阳能电池。 机器人的四条腿中的每一条都由铂和钛的双层（或者石墨烯）形成。使用原子层沉积施加铂， 然后将铂钛层切割成每条腿。

机器人可以通过步行探索环境，以与爬行细胞相当的速度行进。由Marc Miskin提供。

研究人员在一个机器人的太阳能电池上发射激光，为其供电。这导致腿中的铂膨胀，而钛保持刚性，导致肢体弯曲。当每个太阳能电池引起前腿或后腿的交替收缩或放松时，产生机器人的步态。机器人的腿部施加了低功率要求，但可以承载自身重量的一万倍。研究人员表示，驱动仅需要200 mV信号，便于与硅微电子直接集成。

宾夕法尼亚大学和康奈尔大学的团队正在开发智能版本的蜂窝式机器人，其中包括板载传感器、时钟和控制器。由于目前的激光电源将限制amrobot对指甲宽度进入组织的控制，研究人员正在研究新能源，包括超声波和磁场，这些能源将使这些机器人能够进入人体进行药物输送等任务。

细胞大小的机器人可以探索他们的环境，集体制造，并充分利用基于硅的信息技术。它们能够在恶劣的环境中存活，并且足够小，可以通过皮下注射针头注射。“我们发现你可以使用注射器注射它们并且它们能够存活 - 它们仍然完整且功能齐全，”Marc Miskin教授说。

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