Gigaphoton推出加工装置用KrF激光器G200K
2019-03-25
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近日，半导体光刻光源的主要生产厂商Gigaphoton株式会社宣布，自2019年2月开始出产最大输出级200W加工装置用KrF激光器G200K。
2016年，Gigaphoton宣布其利用自身长期以来在半导体光刻领域积累的技术实力成功开发出了可靠性较高的准分子激光器“GIGANEX”系列产品，第一代产品公布了面向FPD制造退火工序的KrF激光器GT600K。
此次发布的加工装置用KrF激光器GT200K是该系列第二代产品。G200K最大输出功率达200W，采用Gigaphoton的激光性能稳定技术和模块寿命延长技术实现高可靠性，有望成为满足客户需求的加工装置用激光器。
Gigaphoton的董事长兼总经理浦中克己表示：“公司的‘GIGANEX’系列秉持将在半导体光刻用准分子激光器领域长期积累的技术应用到其他领域的理念研制而成，已形成系列化产品。此次推出第二代产品G200K，扩大了产品阵容。公司今后将继续提供‘GIGANEX’的解决方案，为产业界做出广泛贡献。”
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