Gigaphoton发布了世界上最大输出级的KrF激光器G45K
2019-02-28
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近日，半导体光刻光源制造商Gigaphoton株式会社宣布，自2019年3月开始出产世界上最大输出级KrF激光器G45K，它将有助于进一步提高最尖端存储芯片的生产效率。
据了解，Gigaphoton的KrF激光器G45K输出功率达到50W，比传统型号提高了25％以上，使得最尖端的存储芯片能够实现更高效率的生产。
此外，通过将装置中主要模块的使用寿命延长20％，能够大幅减少维护停机的时间，同时也有助于提高生产率。
Gigaphoton的董事总经理兼CEO浦中克己先生表示：“随着物联网和人工智能的迅速普及，提高最尖端存储芯片的生产率是我们的客户芯片制造商的当务之急。Gigaphoton的KrF激光器G45K实现了世界上最大级的输出功率，并且通过延长模块的寿命节省了停机时间，我们相信这些将对客户的高效生产作出贡献。”
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