华立捷选用AIX 2800G4－TM MOCVD系统，增加外延晶圆尺寸，提高产能

据麦姆斯咨询报道，台湾垂直腔面发射激光器（VCSEL）外延和芯片制造商HLJ Technology（华立捷科技股份有限公司，以下简称“华立捷”）已订购多台MOCVD设备AIX 2800G4－TM。该订单将用于扩大华立捷的晶圆产能，同时将VCSEL的晶圆尺寸从4英寸提高至6英寸。

Aixtron表示，其全自动行星式反应器系统将于2018年第四季度以8 x 6英寸的配置供货。

据Aixtron称，AIX 2800G4－TM被视为包括VCSEL在内的高端激光应用的行业标准，特别是在3D传感领域，这是因为行星式反应器提供的工艺性能卓越，可精确控制外延层厚度和均匀性。因此，使用该系统的工厂能在满足高产量的同时提供高质量的产品。

华立捷总经理Larry Lai说道：“为了满足市场对外延晶圆和芯片级VCSEL的快速增长需求，我们决定将晶圆尺寸提高到6英寸。从2018年第四季度开始，新订购的两套Aixtron MOCVD系统将抵达华立捷。2019年第二季度，第一条完整的VCSEL量产线将投入使用。”

“很高兴我们的新合作伙伴华立捷选择了AIX 2800G4－TM系统，这套设备可实现一流的VCSEL外延和芯片制造量产工艺。期待我们与华立捷的合作，我们将全力协助华立捷的生产工艺与我们的设备完美匹配。”Aixtron首席执行官Bernd Schulte说。

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