压电偏转镜是以压电元件作为驱动源与外部机构相结合带动镜片实现精密偏转/倾斜运动的压电机械系统。芯明天压电偏转镜包括压电陶瓷驱动精密偏转镜以及压电马达驱动大行程压电偏转镜。

压电陶瓷驱动压电偏转镜

压电陶瓷驱动压电偏转镜内部采用无回差柔性铰链并联导向结构设计，外部机械结构通过内部多支压电陶瓷的伸缩来实现单轴或多轴角度偏转运动，补偿量小，确保偏转镜具有极佳的运动精度和超高的稳定性，通过内置高精度传感器进行闭环控制，实现亚微弧度分辨率及微弧度定位精度。

主要特性：

压电陶瓷驱动压电偏转镜根据运动方式包括一维θx二维θx,θy三维θx,θy,Z，运动工作方式如下图所示：

该系列高精密压电偏转镜具有多种尺寸、偏转范围、规格型号可选，P31系列压电偏转镜能够实现的最大偏转范围达25mrad，P33.T2S压电偏转镜配套芯明天闭环压电控制器可以实现0.5μrad的定位精度。

驱动控制方式：

芯明天压电偏转镜可以根据用户对负载要求、使用频率，通信功能、开环/闭环、体积要求等选择不同功能的控制器，也可以根据用户特定的需求开发定制。

典型应用：

精密压电偏转镜主要应用于光通信、光路调整、光干涉、自适应光学等领域，芯明天P33系列压电偏转系统已经成功应用于卫星激光通信实验中，高精度的偏转、快速跟踪、稳定的控制使其受到国内外科研院所及企业的青睐。

压电马达驱动压电偏转镜

压电马达驱动压电偏转镜，采用压电马达驱动，内部精密轴承转动导向与外部柔性铰链导向机构相结合实现大行程高精度精密偏转。

主要特性： 

压电马达驱动压电偏转镜为一维θx轴压电偏转镜，中心通孔透光孔径为9mm、偏转范围可达6°（+/-3°）、实现光学12°的偏转，可以选择不同的控制器实现1/64步，即最小步进0.3μrad， 速率可达25mrad/s。

驱动控制方式：

压电马达驱动偏转镜可以选择三种不同分辨率的控制器实现不同的最小步进，主要是通过软件进行上位机控制，最小步进与步进速度可以设置。

典型应用：

压电马达驱动压电偏转镜已经应用于光学导轨带动分束立方体做精密偏转运动。

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