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压电平移台在纳米技术的应用

2017-11-24

浏览量(114)

压电定位系统是纳米技术领域基本的研究工具。纳动产品可以搭建多自由度纳米定位运动系统,以及大行程纳米级精密定位多自由度系统,应用于SPM,3D-X射线检测扫描探针显微镜,纳米操作等方面。目前,物理学、化学、生命科学、材料科学、微电子学等许多学科的研究已经进入纳米尺度的阶段。人们不只是局限于研究物质表面原子与分子的平均性质,而是要研究单个原子层的结构及其作用机理。因此迫切需要具有纳米级定位精度,具有快速响应能力的微动机器人系统作为纳米科学研究的实验手段。该领域诸多应用中极高的精度和速度要求使纳米定位系统的作用变得非常关键,例如纳米压印、纳米装配、超高密度数据存储和纳米制造。查看产品

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