11月25日，德国联邦总统弗兰克-瓦尔特·施泰因迈尔在柏林举行的颁奖典礼上宣布了2020年德国未来奖的最终获奖者。联邦总统对由蔡司半导体制造技术部的Peter Kürz博士、通快公司半导体制造激光系统部的Michael Kösters博士，以及弗劳恩霍夫应用光学与精密工程学院的Sergiy Yulin博士表示敬意，并向该团队的 “ EUV光刻-数字时代的新光”项目授予了技术创新奖。

成功的市场启动创造了就业机会

获胜团队在开发EUV光刻技术和为工业批量化生产准备上做出了重大贡献。其结果是让2000多项面向未来的专利技术，将构成了未来人们数字化生活的基础，为实现自动驾驶、5G、人工智能和其他未来创新等应用，提供了先决条件。受益于EUV光刻技术的研发投入，迄今为止蔡司和通快两家公司已经创造了3300多个高科技工作岗位，2019年的年营业额超过10亿欧元。

■颁奖现场

更高性能、更节能和更具成本效益的微芯片

荷兰ASML公司是世界上唯一的EUV光刻机制造商。这家集成商公司设计了总体系统架构，尤其是EUV光源。而用于EUV光源的核心部件就是通快的大功率激光器和蔡司的光学系统。

Extreme Ultra-violet（EUV）是极紫外线光，具有极短波长。这项无与伦比的关键技术将成为今后10-20年微芯片制造领域的主流，给企业带来的是产品性能、能源效率和成本效益的大幅提升。

数字化的广泛应用需要持续快速的计算能力给予支持。今天的智能手机比1969年首次登月时使用的计算机功能强大一百万倍。这是通过在比指尖片还小的微芯片上容纳超过150亿个晶体管才得以实现的。

最新一代芯片的制造过程基于极紫外线光的使用，从而突破了技术上可行的极限。从真空中的光源和光学系统到该过程中使用的镜子的表面涂层，实际上，整个曝光技术都必须从头开始研发。

■颁奖现场（手握奖杯者为Peter Kürz博士）

EUV光刻，德国欧洲成功的故事

“衷心祝贺获奖团队，他们代表了数千名EUV开发人员。我们和我们的合作伙伴很高兴能得到联邦总统颁发的这一殊荣。获奖团队认识到全球劳动密集型产业面临的困境而做出了技术贡献，一旦该技术被普及应用将惠及全球制造业，”蔡司集团执行董事会成员兼半导体制造技术部门负责人Markus Weber博士说，“蔡司代表着卓越的光学性能和精度。这一直是芯片生产的关键因素。作为一项突破性的创新，EUV技术将继续推动商业和社会数字化领域的重大进步。我们很自豪能够为此做出贡献，并与我们的战略合作合作伙伴ASML，通快和弗劳恩霍夫研究所分享喜悦。”

通快集团管理委员会副主席兼首席技术官Peter Leibinger谈到：“我们很高兴通快、蔡司和弗劳恩霍夫应用光学与精密工程学院的研究团队赢得了2020年德国未来奖。通过对创造力的融合和对技术的充分理解，以及依靠毅力和良好的团队合作，获奖团队是将未来技术发展为工业成熟的完美典范。”

该奖项再次向世人展示了强大的工业体系和出色的研究前景，在面临本世纪的技术挑战时所起到的关键作用。众多的EUV光刻项目创造了大量的就业岗位，同时还确保了欧洲在生产最先进微芯片方面发挥了先锋作用。

凭借世界上强大的脉冲工业激光器，通快为每部现代智能手机中使用的现代微芯片的曝光提供了关键组件。脉冲激光是目前EUV光刻机首选的经济光源，还没有其他方式可以替代。

蔡司照明系统的质量和形式以及投影光学系统的分辨能力，决定了微芯片结构的大小。因此，光学系统中使用的反射镜具有重大创新。由于即使最小的不规则性也会导致成像错误，因此为EUV光刻技术开发出了世界上“最精确”的反射镜。弗劳恩霍夫是大型镜子先进镀膜技术的重要研究合作伙伴。

“我们祝贺蔡司，通快和弗劳恩霍夫应用光学与精密工程学院的研究人员因其出色的表现而获得了这一殊荣。在EUV光刻技术中，他们开发了一项能在全球范围内推动数字化发展的新技术，从而为进一步创新奠定了基础。” Fraunhofer-Gesellschaft主席Reimund Neugebauer教授说。

弗劳恩霍夫科学家在将近三十年的研究中，在第一批EUV反射镜和光束源的开发中发挥了重要作用。EUV光刻技术正在被应用的事实，也要归功于科学、工业界以及科学家之间深入合作的研究精神和所有参与者的持久承诺。

■2020德国未来奖获奖团队，从左至右：Sergiy Yulin博士、Peter Kürz博士、Michael Kösters博士

工程和生命科学方面的创新成就荣誉

自1997年以来，德国每年都会设立德国未来奖，它是德国最高科学成就荣誉之一，获奖者可获得25万欧元的奖励。该奖项用以表彰在技术、工程和生命科学方面取得令人瞩目成就的杰出产品。

每年，评审团从众多不同的项目中选出三个研究团队入围，并进行最后一轮评审。除了团队的创新成就，陪审团还要评估申报技术的社会潜力和对未来经济的作用。今年，除获胜的EUV团队外，卡尔·蔡司Meditec的团队也入围了。因此，蔡司是德国未来奖历史上第一家获得两项提名的公司。据悉，蔡司和通快将全部的奖金用于慈善事业。

转载自：荣格工业激光

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