1.2国内外小型光纤光谱仪发展现状
      微小型光谱仪的实现可以应用多种技术，包括目前发展比较迅速的微细加工技术（例如MOEMS、LIGA技术）和应用二元光学和集成光学光波导技术等制造技术。目前国内外有报道的微小型光谱仪按照工作模式，主要包括以下几类：采用新型滤光技术的微型光谱仪]，基于调制原理的微型光谱仪[口]，二元光学微型光谱技术[3]，基于集成光学波导技术的微型光谱仪14]，基于光栅分光的微型光栅光谱仪。下面主要介绍几种采用光栅分光的微小型光纤光谱仪。
      美国的Ocean Optics公司利用光纤的传光性能，推出了一种掌上光纤光谱仪151，它使光谱仪器脱离了样品池，利用光纤探头把远离光谱仪的样品光谱源引入，进行光谱测量和分析。采用Czerny-Turner系统的变形形式，包括两片球面反射镜和一块平面反射光栅。如图1-1所示，被测光从光纤导入，经反射准直镜准直、平面反射式光栅分光、反射式成像物镜聚焦后，由CCD探测器进行探测。该方案的特点是光学元件都采用反射式，可在一定程度上减少象差，并使工作光谱范围不受材料特性的影响。其可测量的光谱范围为200nm-1050nm。若使用1200线/mm的光栅，100um的光纤芯径时，分辨力为2.5num。

     荷兰的Avantes公司的微小型光谱仪CCD和光电二极管阵列探测器，可以对整个光谱进行快速扫描而不必移动光栅，测量速度快，可以用于在线分析。该公司的AvaSpec系列光谱仪采用对称式Czerny-Turner光学平台设计，如图1-2所示，焦距有45mm和75mm两种。信号光由光纤接口进入光学平台，经一个球面镜准直，然后由一块平面光栅分光，经由第二面球面镜聚焦到一块线性探测器阵列上。在不同的器件参数条件下其分辨率不同，例如AvaSpec2048光谱仪在采用600线/mm的光栅，50um宽度的狭缝时，分辨率为1.2nm。

文章摘自：王宇，小型光纤光谱仪的研究

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