光纤耦合激光器及其耦合的一种方法
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【技术领域】
本发明涉及一种激光器,尤其涉及一种无需阶梯热沉而通过倾斜慢轴准直镜SAC 使光束产生高度差的高功率半导体光纤耦合激光器及其耦合方法。
【背景技术】
多管芯耦合技术是半导体激光器技术的一个重要的组成部分,每个单管芯的激光 器经过耦合,合并成一束激光,其光束质量更好,效率更好,其耦合方法是决定大功率激光 器性能的一个重要环节。
多管芯耦合技术一般包括快轴整形、慢轴整形、光束整形、聚焦和耦合等步骤。其 中光束整形是将经过快慢轴调整过的光斑,按照一定的规律调整整齐,其光斑面积越小,越 有利于光束耦合到光纤中。
传统的多管芯耦合技术,都是利用阶梯状热沉平台来实现光束整形中光束的高度
差的,这种工艺对阶梯热沉的机械加工精度要求很高,通常在l〇um左右,阶梯越多,积累误
差越大,导致多管芯耦合技术直接受阶梯热沉加工精度限制,且耦合管芯的数量受到局限, 不能随意增加。
如申请号为201310322502. 1 (申请日为2013年7月29日)的中国专利,公开了
"一种大功率半导体激光器耦合的光纤固定装置",其所有衬底、快轴准直镜FAC、慢轴准直
镜SAC、反射镜分别固定在底座的不同台阶上",其耦合效果直接受台阶加工精度的影响,且
采用大面积的台阶,其加工精度更难保证;申请号为201310322539. 4 (申请日为2013年7
月29日)的中国专利公开了"一种斜面式多管半导体激光器耦合装置及方法",其"多个激
光二极管固定在底板的高平整度的倾斜不同台阶面上",以实现"易加工、精度高"的目的, 但是其结构笨重,体积大,重量和材料消耗也会大幅度增加。
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