利用激光干涉直写技术制作倾斜非对称周期微结构
2019-05-08
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如何制造具有可控倾斜的非对称形态微结构是一项具有挑战性的任务。研究表明，具有倾斜形貌的表面具有提供各向异性的功能，这引起了研究人员的兴趣。本文的工作提出了一种使用双束激光干涉直写微加工技术，用于制备具有确定和可控倾角的微结构。聚酰亚胺箔用4ns 紫外（266nm）激光源照射，产生线状周期性结构，周期为4.6μm至16.5μm。通过改变相对于装置光轴样品倾斜角，从而实现0°-75°的倾斜度，制备了倾斜度可控的结构壁。加工参数（激光能量密度，激光脉冲数和干涉周期）以及微结构的倾斜度与样品的整体倾斜度相关。研究发现，确定的激光能量密度和脉冲数是观察显著非对称形态结构所必需的。另外，报道了结构咬边的存在，这为在聚合物材料上开发新的各向异性开辟了可能。且给出了关于光衍射的初步结果，显示出结构与闪耀衍射光栅类似的功能。
对于一定的加工参数，结构的空间形状变化为倾斜角的函数
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