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XP-62X系列压电纳米定位台是采用封装型压电促动器直接驱动,具有大承载、响应速度快、可靠性高和使用寿命长等优点。内置高分辨率SGS传感器进行全闭环运动控制,高谐振频率和大拉力使得该系列纳米定位台适用于精密加工等领域。
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